低濃度臭氧檢測儀主要采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光（允許波長為253.7nm），經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就可得出臭氧濃度大小。 揮發性有機化合物 (VOC) 有時會出現在應用中，并且會產生交叉敏感讀數。VOC 一詞適用于具有不同行為的各種碳氫化合物。在高濃度的 VOC 下，傳感器背景補償可能會變得不堪重負，讀數會低于實際值。用戶還應注意，由于氣相臭氧與 VOC 反應，在存在高濃度 VOC（尤其是烯烴）的情況下，臭氧的測量值可能低于預期。
Aeroqual GSS 臭氧傳感器會因暴露于特定化合物（如硅烷、有機硅、磷酸酯和有機氯化物）而中毒。有機硅和硅烷存在于許多產品中，例如潤滑劑、拋光劑、脫模劑和粘合劑，由于在 GSS 傳感器上形成不可滲透的玻璃層，它們會永久損壞傳感器。必須避免接觸這些化合物。
應仔細考慮配備 Aeroqual 臭氧傳感器的房間的清潔過程，以確保該過程不會影響傳感器的準確性。使用噴霧或噴霧的清潔系統可能會損壞傳感器，因此在清潔開始之前，應關閉并移除或覆蓋傳感器。
許多應用需要測量和控制低于十億分之 200 的極低臭氧濃度。在如此低的濃度下，您需要考慮以下采樣問題才能成功測量和控制臭氧。
臭氧具有高反應性。臭氧會迅速與有機化合物和表面發生反應，例如墻壁、地板、塑料測試室和人。
臭氧濃度梯度在房間中很常見，并且受空氣流動和混合的影響很大。靠近墻壁和表面或空氣流量低的區域，濃度可能較低。
臭氧傳感器頭有一個干凈的不銹鋼網來過濾灰塵。如果隨著時間的推移變臟，傳感器頭開始讀取不正確，需要更換。
